导读大家好,小阜来为大家解答以上的问题。光刻技术,关于光刻技术的大概意思很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、光刻技术是指集成电
大家好,小阜来为大家解答以上的问题。光刻技术,关于光刻技术的大概意思很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、光刻技术是指集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。
2、光刻技术成为一种精密的微细加工技术。
3、随着半导体技术的发展,光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2~3个数量级(从毫米级到亚微米级),已从常规光学技术发展到应用电子束、X射线、微离子束、激光等新技术;使用波长已从4000埃扩展到0.1埃米数量级范围。
4、光刻技术成为一种精密的微细加工技术。
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